高濃度含氟化物廢（fèi）氣（qì）通（tōng）過（guò）兩級換熱（rè）之（zhī）後，達到（dào）一定溫度後經過to直燃爐進行高溫氧化（huà），產生氟化氫等廢氣，氟化氫有極強腐蝕性，所以TO爐需要（yào）做好防腐蝕性（xìng）工作，本公司（sī）選擇強大的耐腐蝕材料作為澆鑄料，分兩次澆鑄完成（chéng），達（dá）到高強度、高耐腐蝕的效（xiào）果，保證後（hòu）期設備的使用壽命；廢（fèi）氣經過1000℃的高溫（wēn）氧化後，再次進入兩級換熱，與進氣的低（dī）溫廢氣進行冷熱（rè）交換後經（jīng）過急冷塔，在急冷塔的作用下，溫度降至常溫（wēn），常溫的廢氣經過兩級堿（jiǎn）洗（xǐ），達到酸堿中和，達標的中性（xìng）廢氣（qì）通過煙囪排入大氣。另（lìng）外控製係統上：設備采用（yòng）多監控點位監控，可（kě）通過手機端等終端（duān）設備在線查看設備使用狀態，控製（zhì）係統內部采用以太網通訊方式，PLC與觸摸屏、上位機等采用以太網通訊方式，廢氣（qì）治理設備也可以通過以太網與（yǔ）廠內其他係（xì）統進行通訊和數據交換，且TO前設置LEL在線檢測（cè）裝置（檢測精度±5% F.S）和VOCs濃度傳感器，控（kòng）製廢氣進入TO的濃度＜25%LEL， 設置二級報警（jǐng）點（diǎn），達到一級報警點提示係統檢查，當達到二級報警（jǐng）點（diǎn）時，連鎖控（kòng）製開啟新鮮空氣閥，當報警持續20s時，係統緊急停車。